8000多萬中國公司引進ASML光刻機　終於向28nm邁進

晶瑞表示，經公司多方協商，順利購得ASML XT1900 Gi型光刻機一台。該設備於2021年1月1 9日運抵蘇州並成功搬入公司高端光刻膠研發實驗室。下一步，公司將積極組織相關資源，盡快完成設備的安裝調試工作。

從晶瑞公司的信息來看，公司採購的光刻機設備為ASML XT 1900 Gi型ArF浸入式光刻機，可用於研發最高分辨率達28nm的高端光刻膠。

此外，28nm級別的光刻機在ASML公司中並不算多先進的型號了，官網上列出的沉浸式光刻機最舊的型號也是XT1965CI了，可用於20nm以下的制程。不過晶瑞公司購買的這台光刻機花了1102.5萬美元，約合港幣8000多萬。

本次購買的ASML光刻機設備若研發工作進展順利，將有助於公司將光刻膠產品序列實現到ArF 光刻膠的跨越，並最終實現應用於12寸晶片製造的戰略佈局。